光学/接触双模式表面形貌测量

三维形貌,粗糙度,磨损体积,台阶

仪器名称:3D形貌仪

仪器型号:美国Aep科技公司生产,Nano-Map-D双模式3D形貌仪

适用范围:设备配有具有非接触白光干涉测量和接触式大范围SPM探针扫描测量双模式,可测量材料表面粗糙度,及材料表面三维形貌图

提供数据:粗糙度,三维形貌图,刻痕体积,薄膜台阶高度差

重要参数:接触式的纵向分辨率:0.1 nm,光学模式的纵向分辨率:2 nm,纵向扫描范围为 300-3900 μm;横向放大倍率为5倍,10倍,50倍,100倍。

样品要求:厚度<100 mm,直径<100 mm,对角线长度大于10 mm,短边与长边比>1:3,测量面与放置底面应平行。光学模式要求物体表面反射率较高。

测量周期:收到样品后5个工作日以内

收费标准:光学模式,200元/样品;接触模式400元/样品

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